应用

• 半导体、平板显示器和太阳能光伏产品

• 高纯介质和特殊气体系统（气体供应系统、大宗气体供应和油罐区安装）

功能特性

• 安全、快速可用

• 专为危险区域的应用而开发

• 可变： 设计紧凑，配置多样

• 即使在温度波动较大的情况下也能进行精确测量

描述

WUC-10、WUC-15 和 WUC-16 型是结构特别紧凑的超高纯度传感器，用于测量半导体行业超纯气体的压力，尤其适用于危险区域。与介质接触的部件包括符合 SEMI F20 标准的电抛光不锈钢 316L 和特殊的 2.4711/UNS R30003 薄膜传感器。传感器具有出色的电磁兼容稳定性和多种电气与工艺连接。侧面的电位器便于使用，可方便地进行零点设置。每个传感器都经过密封性和准确性检查。

安全快速
WUC 系列产品在无尘室条件下生产，并受到严格监控。巨大的生产能力保证了大批量客户的最大交货可靠性。这样可以节省时间、降低风险并提高生产率。

专为危险区域应用而开发
WUC 系列专为危险区域而开发，通过了多项当地和国际防爆认证。

可变： 设计紧凑，配置多样
WUC 系列的栅格尺寸为 28.4 mm [1 ⅛ in]，符合行业标准，安装高度低，电气和工艺连接范围最广。采用高度自动化生产个性化配置的解决方案。

即使在温度波动较大的情况下也能进行精确测量
主动温度补偿可检测高波动（周期性压力冲洗、高气体节流值、焦耳-汤姆逊效应）并将影响降至最低。因此，在 -20 ... +80 °C [-4 ... +80 °C [-4 ... +176 °F]范围内的稳定测量。